วัดนี้เป็นปูชนียสถานสำคัญของจังหวัดลำพูน ตามตำนานการสร้างวัดเล่าว่า พระพุทธองค์พร้อมด้วยสาวกได้เสด็จจาริกสั่งสอนไปตามที่ต่าง ๆ จนถึงที่แห่งนี้ได้รับสั่งให้นำจีวรที่ซักระหว่างทางออกมาตากกับหน้าผาหิน ซึ่งปัจจุบันก็ยังปรากฏเป็นรอยตารางคล้ายจีวรของพระอยู่จนทุกวันนี้ จากนั้นจึงทรงอธิษฐานเหยียบพระบาทประดิษฐานรอยไว้บนลานผาลาดซึ่งเป็นที่ตั้งวัดในปัจจุบัน และบนม่อนดอยเบื้องหลังวัดได้มีการสร้างพระเจดีย์ ซึ่งเป็นศิลปะที่ผสมผสานจากพระธาตุดอยสุเทพและพระธาตุหริภุญชัย เชื่อมระหว่างเจดีย์บนม่อนดอยกับวัดพระบาทตากผ้าที่เชิงดอย เมื่อถึงวันแรม 8 ค่ำ เดือนแปดเหนือ ซึ่งตรงกับวันถวายพระเพลิงพระสรีระของพระสัมมาสัมพุทธเจ้า จะมีการสรงน้ำพระพุทธบาทเป็นประเพณีทุกปี